【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS)是崛起于该世纪八十年代后期的新兴技术领域,微马达(MEMS的动力源)技术是其中的一个重要分支,微马达输出力矩的动态测试将对微马达的微观机理的深入研究
【出 处】
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长春光学精密机械学院 长春理工大学
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微电子机械系统(MEMS)是崛起于该世纪八十年代后期的新兴技术领域,微马达(MEMS的动力源)技术是其中的一个重要分支,微马达输出力矩的动态测试将对微马达的微观机理的深入研究产生直接的影响,所以对它的研究具有重要意义.目前关于微马达力矩动态测试技术的研究较少,因此该文围绕着微马达力矩动态测试技术进行了以下几方面的工作:该文在查阅了大量有关国内外文献资料,综合分析了多种影响系统测试精度因素的基础上,提出了设计微力矩测试系统的基本原则.在分析、比较和归纳以往微马达力矩测试方法的基础上,提出了一种新的微马达输出力矩动态测试方法:以非接触测量代替以往的接触测量,改间接测量为直接测量,这样可以最大限度地减少中间环节及测量影响因素,从而可以把测量精度提高一个数量级.设计完成了非接触微力电磁制动器、微力自动加载装置、测试系统控制电路及系统软件的编制等工作.设计并完成了微马达力矩测试系统.它可用于多种微马达的输出力矩的测量,最低灵敏度2×10<-8>Nm,测量范围为10<-4>ˉ10<-7>Nm,全量程范围内精度优于8%.
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