热式质量流量计(Thermal Mass Flowmeter)是利用传热原理实现流量测量的仪表,其成本低,原理、结构简单,无可动部件,压力损失小,测量范围大,是当前质量流量计的研究热点,广泛用于汽车电子、半导体工业、能源与环保等领域,但目前对热式流量计的误差理论研究不足,国内市场的热式质量流量计普遍测量精度不高,另外,对热式流量计传感器深入的理论研究也很少,而传感器作为直接感知流量信号的元件,其热学特性对整个流量计的精度也有着重大影响。针对热式质量流量计测量精度不高的问题,本文主要研究工作如下：1) 研究了常用类型的热式流量传感器,通过深入分析传感器的特性,提出一项应用于流量测量时的技术指标：测速响应时间,并设计实验进行了分析研究；2) 从测量原理、数据处理、元器件性能等方面分析了热式质量流量计的测量不确定度来源,对主要测量不确定度来源气体温度变化、插入深度偏差进行重点研究,给出了相应的测量不确定度传播系数；3) 详细分析研究目前的恒温控制和温度补偿方法,指出目前所用方法的缺点和不足,在此基础上提出了一种精度提升方法——数字闭环恒温控制及数字化温度补偿方法；4) 设计并搭建实验平台,进行热式质量流量计样机的标定实验,拟合标定数据得到不同温度点下的流量计特性曲线以及特性曲线系数与温度的函数,并设计实验验证提出的精度提升方法的有效性与准确性。