【摘 要】
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该文从导波光学、衍射光学理论出发,详细的分析了AWG的工作机理、性能,推导出一系列结构参数和性能评估计算方式,提出了用于改善AWG性能的优化设计方法,从而建立起阵列波导光
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该文从导波光学、衍射光学理论出发,详细的分析了AWG的工作机理、性能,推导出一系列结构参数和性能评估计算方式,提出了用于改善AWG性能的优化设计方法,从而建立起阵列波导光栅的理论模型.针对商用软件存在的一些缺点,作者编写了一系列程序用于AWG的设计、仿真、性能分析、加工误差容限分析等等,这些程序和商用软件结合起来,提高了AWG研究工作的效率.按照建立的模型,作者设计出各种通道数的AWG晶片,仿真结果表明,插入损耗、串扰、中心波长漂移量等性能指标达到了预设的要求.该文还提出了一套简单的光纤与阵列波导光栅的耦合方案,设计并制作出掩模板以及用于加工微细结构的湿法腐蚀装置,利用该装置制作出基本满足要求的光纤定位V型槽阵列.论文的最后阵列波导光栅的加工工艺技术研究,包抱CVD设备制作波导膜层、高精度掩模板的制作、反应离子刻蚀等等.
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