【摘 要】
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本论文采用JGP-450高真空多靶磁控溅射仪制备了氮化钒单层膜，（V,W）N、（V,W,Al）N复合膜以及VN/WN纳米结构多层膜。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪、纳米压痕仪、摩擦磨损仪、高温热处理炉和热失重分析仪对薄膜的微结构、表面形貌、原子百分含量、力学性能、摩擦磨损性能以及高温抗氧化性能进行表征。结果表明：在氮化钒单层膜中，N_2流量的变化，对氮化钒薄膜的相结构影响较大，但对薄膜的
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本论文采用JGP-450高真空多靶磁控溅射仪制备了氮化钒单层膜，（V,W）N、（V,W,Al）N复合膜以及VN/WN纳米结构多层膜。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪、纳米压痕仪、摩擦磨损仪、高温热处理炉和热失重分析仪对薄膜的微结构、表面形貌、原子百分含量、力学性能、摩擦磨损性能以及高温抗氧化性能进行表征。结果表明：在氮化钒单层膜中，N_2流量的变化，对氮化钒薄膜的相结构影响较大，但对薄膜的择优取向不会产生影响，均呈（111）面择优取向；氮化钒薄膜的沉积速率随N_2流量的增加逐渐降低；
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