磁过滤阴极真空弧法是一种新型的薄膜制备技术，通过磁过滤管过滤掉大颗粒和中性原子，制备出性能优异的薄膜。　　 本论文采用磁过滤阴极真空弧法，以金属Zr为阴极在真空室中通入C2H2和N2混合气体来制备纳米复合膜nc-ZrCN/a-C：H（N），用X射线衍射（XRD）、扫描电镜的能谱仪（SEM-EDS）、X射线电子能谱（XPS）、傅立叶红外光谱分析（FTIR）、拉曼（Raman）高分辨透射电子显微镜（HRTEM）和纳米力学探针等研究了纳米复合膜的成分、结构及其性能。　　 实验结果表明：气体流速和磁线圈电流对复合膜的成分和结构有显著影响：随着混合气体流速增加，复合膜中Zr的含量减小，而N和C的含量逐渐增大；磁线圈电流增大，复合膜中Zr和C含量先增大后减小，而N先减小后增大；通过系列实验，我们找出磁过滤阴极真空弧法制备纳米复合膜nc-ZrCN/a-C：H（N）的最佳工艺参数：在气体流速20sccm和磁线圈电流2．4A时，复合膜性能最佳：硬度高达33．23 GPa，弹性模量为211．27 Gpa，弹性回复率We为119．6％，具有较好的抗塑性变形能力；HRTEM和复合膜结构分析证实：所制备的膜具有典型纳米复合膜结构：3-5nm的ZrCN晶粒镶嵌于非晶a-C：H（N）之中。