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微机械谐振器是一种实现电能和磁能等与机械能转换的微机械结构,因其在固有频率处具有优越的振动性能,具有较好的灵敏度,在惯性传感器(陀螺仪和加速度计)、生物化学传感器、射频通信等设备上备受关注。其中,体声波振动模式工作的微机械圆盘谐振器因具有高谐振频率、高品质因数和高灵敏度等优点,是实现高性能陀螺仪器件的重要方案,也是目前微机械谐振器领域重点和前沿研究热点之一。在谐振器工作过程中,品质因子是衡量动力学特性的关键指标,能量耗散是影响器件品质因数的一个重要因素。研究发现,对于真空封装的微机械圆盘谐振器,空气