该文对新结构扭转微镜MEMS光开关进行了研究.首先,该文对扭转微镜MEMS光开关的基本结构进行了力学、光学和机电特性分析,包括提出了一种新颖的基于射线光学理论的模型来分析插入损耗,得到了用于指导优化设计的各方面理论公式,理论结果能够与实验数据和仿真结果相符.在此基础上,为了进一步降低驱动电压和插入损耗这两个影响基于扭转微镜结构的MEMS光开关系统性能主要参数,该文提出了几种扭转微镜MEMS光开关的新结构,并结合理论分析,对提出的各种新结构都用有限元分析软件ANSYS进行了模态分析和静态分析,仿真结果很好地验证了我们的设计思想.通过对各种结构模拟仿真结果的比较,实现了对设计的进一步优化.此外,该文还提出了一种新颖的等效仿真方法,利用这种方法,在不进行具体的力电耦合仿真的情况下,即可判断哪种结构的驱动电压较低.最后,该文介绍了针对新结构扭转微镜MEMS光开光设计的加工工艺,并对流片前期遇到的问题进行了讨论,提出了针对性的改进意见.