【摘 要】
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层状结构的MoS_2、WS_2具有较低的摩擦系数和较好的耐磨性，常作为固体润滑剂应用于空间技术领域。但纯MoS_2、WS_2薄膜在潮湿和富氧气氛中的摩擦学性能较差，为进一步改善其摩擦学性能，本文利用高能球磨层状WS_2和Ag混合粉末，制成不同Ag含量的WS_2／Ag复合靶，然后用射频溅射方法制备WS_2／Ag复合薄膜，研究Ag含量和溅射气压对WS_2／Ag复合薄膜的微观组织结构和摩擦磨损性能的影响
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层状结构的MoS_2、WS_2具有较低的摩擦系数和较好的耐磨性，常作为固体润滑剂应用于空间技术领域。但纯MoS_2、WS_2薄膜在潮湿和富氧气氛中的摩擦学性能较差，为进一步改善其摩擦学性能，本文利用高能球磨层状WS_2和Ag混合粉末，制成不同Ag含量的WS_2／Ag复合靶，然后用射频溅射方法制备WS_2／Ag复合薄膜，研究Ag含量和溅射气压对WS_2／Ag复合薄膜的微观组织结构和摩擦磨损性能的影响。并探索采用硫化处理Mo／Ti金属前驱体膜制备Mo硫化物／Ti复合薄膜的新方法，讨论了不同Ti含量的前驱
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