【摘 要】
：
研究了射频磁控溅射法制备BST薄膜的动力模型,根据等离子体动力学推导出了离子的运动方程,从而指出了前驱体(靶材)的被溅射情况.在控制了靶的变形和SrO的挥发等问题的基础上,
论文部分内容阅读
研究了射频磁控溅射法制备BST薄膜的动力模型,根据等离子体动力学推导出了离子的运动方程,从而指出了前驱体(靶材)的被溅射情况.在控制了靶的变形和SrO的挥发等问题的基础上,制备出了符合化学计量比,且其均匀性和致密度较好,符合射频磁控溅射实际要求的(Ba<,0.67>Sr<,0.33>)TiO<,3>铁电陶瓷靶.利用X光衍射(XRD)技术分析了不同衬底温度、不同退火条件和不同溅射时间(BST薄膜厚度)对BST薄膜的晶体结构的影响.应用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)技术,分析了优化溅射工艺条件下制备的BST薄膜的表面形貌.根据热力学分析论证,确定了所研究硅微桥结构的热导问题为傅里叶导热问题,其数学模型为基于微分法和热力学第一定律的微分方程.由不同的硅微桥三维实体模型给出了其二维等效模型;并推导了二维模型导热微分方程及确定了各种参数.最后由数值模拟结果和分析表明:选用SiO<,2>作桥面,采用四支撑脚结构对绝热性能有较大的提高;但进一步采用两支撑脚结构却没有明显的提高.
其他文献
股市中股民的行为对股市运动有重要的影响.股票市场是一个典型的复杂系统,具有混沌、自组织、突现等复杂行为,传统的数理统计研究方法在研究过程显示出许多不足之处.在这种情
克氏原螯虾（Procambarus clarkii）是研究动物行为的理想的模式动物，研究克氏原螯虾的行为，一方面可以给水产提供一些不可或缺的生产计划上的建议，另一方面为其生物入侵的防治工作
近年，现代通信业务朝着多媒体方向突飞猛进地发展着，由于无线通信在移动性、灵活性、隐蔽性和保密性，以及相应发展潜力上具有无可替代的优势，其在各国政治、经济、军事和国家安全
直接转矩控制(Direct torque Control, DTC)理论一经提出便受到了人们的广泛关注,不同于矢量控制,直接转矩控制摒弃了解耦的思想,不再需要模仿直流电动机的数学模型,而是通过检测电机定子电压和电流,借助瞬时空间矢量理论实现对磁链和转矩的直接控制。虽然直接转矩控制系统有诸多优点,但由于发展时间不长,还存在一些不足和局限。至今,仍然有大量的国内外学者对DTC不断进行改进和完善,提出了
分析了BST薄膜内的成分不均匀现象,BST溶胶质量的好坏是造成BST薄膜内成分起伏的原因之一.通过抑制BST溶胶的水解,BST薄膜的晶粒大小,表面形貌和介电特性都有所改善,用朗道相
飞秒激光具有超短脉冲宽度（1fs=10-15s）、超高峰值功率的特点，飞秒激光与物质作用表现出的非线性和准热绝缘特性使其在微纳加工领域有着重要的应用。飞秒激光可以用于制备高性能
垂直腔面发射激光器(VCSEL)是一种新型半导体激光器.它是光子学器件在集成化方面的重大突破,具有单纵模运行、圆截面出射光、易于构成二维阵列、适于在线晶片级测试等优越性
随着社会经济的发展，Ⅱ型糖尿病成为影响人类健康的主要问题。而胰岛素为体内唯一降血糖激素，胰岛素通过胰岛素信号通路调节全身血糖稳态，信号通路紊乱造成胰岛素抵抗，从而进一步
从古至今，保密通信都享有特殊的重要性。当今信息社会对于保密信息的安全传输有着广泛的需求，商业贸易、网络通信等都需要防范窃听者的侵入。同时，计算机的飞速发展使破译手段越
数字通信信号调制识别在通信对抗中意义重大,它是信号筛选和解调的基础.信号的重要参数的估计,可以更好地去除干扰,为进一步正确识别和解调创造了条件.该文分析了各种不同的