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作为高真空系统的重要组成元件，高真空阀对高真空系统性能有着重要的影响。现代生产日益大型化和快速化。通常情况下，希望高真空阀有较大的流通能力。高真空阀的流量特性主要由其流导值来表示并且高真空阀的流导值大多是理论推导数值，而不是实际测量得出。本文目的为设计高真空阀流量特性实验台，能够测量出高真空阀在空气流和分子流时的流导值。本文综合考虑真空系统流量特性三种测量方法的优缺点及成本等因素，选择定容法作为高真空阀流量特性测量的方法。根据气体状态判别公式，计算出高真空阀内气体处于空气流和分子流时的压力范