基于图像处理的CCD显微测量技术及应用

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本文基于传统的图像处理与显微测量相结合的应用技术,针对于不是很清晰的图像,把图像复原引入显微测量技术,提高了测量精度。主要进行了以下工作:1.在对数字图像处理基本知识系统阐述基础上,对比于图像增强,对图像复原做了系统的研究,用计算机模拟了图像复原在显微测量上提高精度的实验,证明了它的可行性;2.对于数字图像处理的图像分割部分,通过各种方法的比较研究,确定了适合显微测量的分割方法;3.利用图像复原方法在测系统点扩展函数的基础上,对显微图像进行复原处理,使其变清晰,再进行分割处理图像,然后用两维的处理方法实现了对缝宽的精确的显微测量。并用此方法实现了在普通光学显微镜下铌酸锂(LiNbO3)极化畴结构样品缺陷大小的便捷测量。并对测量精度进行了分析;4.用此方法实现了陶瓷牙空隙度的测量。
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