作为一种新兴的高科技产品,薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)在许多行业都有着广泛的应用。随着人们对液晶面板要求的不断提高,其相关技术也有了一定程度的发展,而目前制约液晶面板发展的重要难题之一就是异物不良现象。基于此,本文针对Oven凝结物的产生机理进行分析,并对相关设备进行了改良,旨在通过创建新型参数监控系统,实现对已改造后的参数进行及时有效的监控,从而达到及时发现异物风险并及时改善的目的。本文首先针对TFT-LCD的发展历程进行了介绍,说明了固化炉控制系统的国内外研究现状及不同方法的优缺点;其次,介绍了 CF段(Color Filter)良率的影响因素及异物的产生机理,确定了 Oven光阻固化炉异物常规监控反馈机制,并选用FDC系统作为固化炉异常原因的分析工具;最后,结合现有的工业大数据概念和实际的生产状况,针对性的提出了一种基于MES(Manufacturing Execution System)技术改造的经济型方案,并设计了监控系统基本的结构和参数监控系统方案的各个模块,主要包括:数据获取模块、数据处理模块、设计预定准则、数据管控模块及参数监控系统验证模块。为验证系统的有效性,本文通过极限学习机针对光阻固化炉的炉温实现了快速准确的建模仿真,仿真结果表明:模型的预测温度与实际的温度基本一致,改进后的系统可以很好地实现炉内各项参数的调控,对于工业中的控制器设计、固化炉结构优化设计具有很重要的应用和参考价值。针对光阻固化炉参数的监控能够大大降低设备的异常,从而提高设备在CF段的清洁程度,使排气管路的温度保持在相对稳定的状态,进而大大提升产品的良率,本文为固化炉的改造和参数的监控提供一条新的思路。