随着高科技领域迅猛发展以及相应市场的快速增长，对系统的驱动、传感以及控制的精度要求越来越高。压电陶瓷驱动器较其他驱动器有着定位精度高、刚性硬度大、响应速度快的优势，故被广泛应用在各个领域进行精密定位。由于它具有微纳米级运动精度特点，所以在超精密加工和微纳制造方面有着越来越广阔的应用价值，也对该领域的发展起到了至关重要的作用。但压电陶瓷驱动器又存在迟滞等非线性特性直接影响整个平台的性能，同时也加大了精密控制平台的难度。本文主要针对压电驱动器的输出特性进行研究，建立了迟滞模型，并且针对压电驱动器以及桥式柔性铰链放大机构进行了耦合建模。为补偿压电陶瓷驱动器微位移系统的迟滞特性奠定了理论基础。为了分析压电驱动器的特性以及模型验证，进行了压电微位移系统的实验平台设计搭建以及测试，对于输入电压幅值、频率和波形变化对位移输出的影响进行实验，并且对于力负载对压电驱动器的位移输出的影响进行了实验。通过数学公式和图示的表达对于经典的Preisach模型进行了描述，并且表达了整个辨析过程。采用实验验证了模型的消除性与一致性，通过模型数值化的方法对压电驱动器在驱动电压下的位移输出进行了预测，以及误差分析，并提出了在负载情况下的迟滞模型。最后，分析并阐释了整个压电陶瓷驱动微位移系统各个部分环节的特点及作用。分析了驱动器与柔性铰链的耦合运动过程，通过对驱动器机电耦合模型建立以及柔性铰链弹性运动模型的建立，提出了一种压电驱动器与桥式柔性铰链的耦合模型，并采用实验辨析的方法验证了其有效性。