太阳能绿色环保,是应用前景极为广阔的新能源之一。我国的光伏电池产业发展迅速,市场竞争下光伏电池生产企业对产品质量的要求逐步提高。光伏电池生产线上,原硅片的好坏直接影响后续工序的加工制造。原硅片的缺陷类型较多,厚度与线痕是影响硅片质量的重要因素。由于线痕的精度单位为微米,人工识别难度大。研究一种光伏硅片厚度与线痕缺陷的检测方法,对提高产品质量具有重要意义。首先,分析硅片厚度与线痕缺陷的检测需求,设计了总体检测方案。硬件方面,进行了硬件选型测试,搭建了检测系统,确保检测工作顺利进行。软件算法方面,使用硅片表面形貌数据,设计了厚度与线痕缺陷相结合的检测算法。其次,为了提高数据的精度,对被测物的倾角建立了可量化的补偿模型。针对传感器一致性较差问题,使用最小二乘法提高了六个传感器一致性,进一步提高了系统的检测精度。除此之外,分析了影响检测精度的其他因素,给出对应解决方案。并且研究了适应于本检测项目的数据处理方式,便于进行后续算法计算。然后,提出了厚度与线痕缺陷的检测算法。厚度测量部分,根据对射厚度测量原理建立了具有矫正变量的厚度测量公式,提高了厚度测量精度。线痕缺陷检测部分,针对干扰因素造成的数据波动问题,提出了基于高斯滤波的线痕预处理算法,排除了干扰因素,得到硅片表面真实形貌数据,并结合零点定理计算线痕的真实高度与宽度,完成线痕缺陷的检测。最后,为了验证本文检测方法的可行性与准确性,在vs平台上开发了检测软件,使用硅片样品进行了实验验证。分析实验结果可知,本文提出的检测方法对光伏硅片厚度检测精度达到3.8um,重复精度达到2um,线痕缺陷检测准确率达到96.3%,平均每张硅片的检测时间为0.9s。实验数据证明本文提出的检测方法可行,高效准确,可用于光伏硅片的工业检测。