【摘 要】
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为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限,需要研制新一代基于新原理、新效应的具有更高灵敏度、更低功耗的微/纳机电器件。本文主要研究基于量子共振隧穿效应的AlAs/GaAs双势垒纳米薄膜微结构输出特性的测试方法,设计电路提取共振隧穿微结构在外界力作用下的微弱信号,通过大量的实验测试微结构及基于微结构的纳机电加速度计的机电特性。论文研究了共振隧穿微结构的基本特性,包括“平台”结构、本征双稳态特性、自激
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为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限,需要研制新一代基于新原理、新效应的具有更高灵敏度、更低功耗的微/纳机电器件。本文主要研究基于量子共振隧穿效应的AlAs/GaAs双势垒纳米薄膜微结构输出特性的测试方法,设计电路提取共振隧穿微结构在外界力作用下的微弱信号,通过大量的实验测试微结构及基于微结构的纳机电加速度计的机电特性。论文研究了共振隧穿微结构的基本特性,包括“平台”结构、本征双稳态特性、自激振荡特性及电荷积累效应,给出了微结构的电学等效模型,设计了共振隧穿振荡器,并研制出振荡
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