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基于微悬臂梁阵列传感器的光响应检测系统设计
【摘 要】
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微悬臂梁是最简单的MEMS构件之一,目前微悬臂梁传感技术已经成为一种应用广泛、响应速度快、检测精度高的新型传感技术,综合了微机电系统(MEMS)、机械学、电学、光学以及力学等交叉学科,在生物工程、环境监测、微力测量和信息工程等领域的应用得到了拓展。本文以微机械技术为基础,参考现今国内外微悬臂梁技术研究现状,探究微悬臂梁传感的信号检测方式,对比多种数据读出方式,最终确定使用光杠杆检测法,用于实时监控
【机 构】
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安徽理工大学
【出 处】
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安徽理工大学
【发表日期】
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2019年01期
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