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碳纤维及其复合材料的氧化问题限制了其在高温领域的广泛应用。一般采用制备碳纤维保护涂层防止碳纤维高温被氧化。本文主要通过化学气相反应在碳纤维表面制备SiC涂层、SiC/PyC涂层和SiO2/SiOC涂层改善碳纤维的抗氧化性能,并研究反应条件对涂层形貌性能的影响,利用X射线衍射（XRD）、X射线光电子能谱（XPS）、扫描电镜（SEM）及热重分析（TGA）等分析手段探索了涂层结构与抗氧化性能的关系。以Si/Cu混合体系作为硅源,实现较低温度（1250-1300℃）化学气相反应制备碳纤维SiC均匀涂层。体系中,Cu的存在降低了Si的熔点,在较低反应温度产生液相,以获得较大的Si蒸汽压,有利于SiC涂层的生成。热失重分析表明,反应温度为1250℃和1300℃制备的SiC涂层能有效地起到抗氧化效果,纤维抗氧化温度比无涂层纤维提高150-200℃,其中反应温度为1250℃制备的涂层碳纤维表现出比1300℃制备的涂层更好的抗氧化性,这是由于涂层致密程度不同所致。为保护碳纤维在制备SiC涂层过程中不受到损伤,以二甲苯为前驱体在碳纤维表面化学气相沉积（CVD）热解碳（PyC）涂层,考察沉积时间对PyC涂层结构及厚度的影响。并用PyC涂层作为模板与Si蒸汽反应制备SiC/PyC复合涂层。与SiC涂层相比,SiC/PyC双涂层表现出更好的抗氧化性能。采用Si粉在微量氧含量环境中1150-1300℃产生SiO蒸汽,与体系中氧气共同作用在碳纤维表面制备SiO2/SiOC涂层。反应温度与氧分压影响涂层结构与组成。