化学气相沉积(CVD)金刚石膜是具有优异的力学、电学、热学、声学和化学性能于一体的材料，在高科技领域具有十分广阔的应用前景。但是，CVD金刚石膜为多晶材料，表面为杂乱分布的晶粒的堆积，显露出明显的棱角，表面粗糙度大，后续加工比较困难。因此，有必要对金刚石膜的加工展开研究，使其满足各种应用的要求。 本文对金刚石厚膜的加工工艺过程进行了探索和研究。具体的研究工作如下： 1．激光与金刚石相互作用的物理化学过程的机理研究。从激光加热和热传导的理论出发，研究了激光传热及其在金刚石表面引起的温度分布情况，以及在不同的温度和激光功率下，金刚石膜发生的不同的物理和化学变化。并且在实验研究的基础上，分析了激光刻蚀金刚石材料的基本规律。 2．在理论分析的基础上，开展了激光切割和抛光金刚石膜的实验研究。探讨了激光切割和抛光金刚石膜的基本规律，详细探讨论述了激光的工艺参数对抛光效果和抛光效率的影响。并使用现代分析技术，对抛光表面进行SEM扫描电镜和拉曼光谱等理化分析，分析了抛光表面的微观表面形态和激光抛光金刚石膜的机理。 3．开展了金刚石膜的机械抛光研究，使用自制的研磨装置对金刚石膜进行精抛光加工，分析抛光速度等工艺参数对加工效果和效率的影响，并通过SEM等手段分析了微观形貌和抛光机理。