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对于MEMS谐振器件,品质因数是衡量其动力学特性的重要指标。高品质因数表示MEMS谐振器件振动过程中能量损耗较慢,且具有更高的灵敏度和分辨率。阻尼是影响品质因数的重要因素,对于MEMS扭转谐振器件,挤压膜阻尼一般是其阻尼主要部分,这使得在理论层面上建立一个准确的挤压膜阻尼模型变得非常必要。目前,前人已对MEMS扭转谐振器件的挤压膜阻尼进行了大量研究,但前人的研究大多只考虑了MEMS扭转谐振器件的纯扭转模态,一些学者虽然考虑了支撑梁的弯曲振动,但他们只研究了MEMS扭转谐振器件的静态特性或忽略了器件中