磁控溅射制备金属掺杂氧化钛薄膜及其光学性质研究

来源 :长春理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hamkang

【摘要】

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【作者】

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朱明海

【出处】

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长春理工大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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磁控溅射二氧化钛金属禁带宽度

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