【摘 要】
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本论文选用一种新型催化剂—金镍复合膜,以氢气和甲烷为混合气体,利用等离子体增强的化学气相沉积方法制备出定向生长的碳纳米管阵列。通过改变各种生长参数对碳纳米管的生长
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本论文选用一种新型催化剂—金镍复合膜,以氢气和甲烷为混合气体,利用等离子体增强的化学气相沉积方法制备出定向生长的碳纳米管阵列。通过改变各种生长参数对碳纳米管的生长规律进行研究,并对其在金镍复合膜上的生长机制进行了深入探索。在优化的实验参数下,制备出一种硅尖和碳纳米管的混合物,混和物中的碳纳米管具有高长径比、清洁的管壁和良好的定向性。对不同条件下制备的碳纳米管进行场发射性能的测试,其中硅尖和碳纳米管的混合阵列表现出优异的场发射性能。从多种角度讨论了影响场发射性能的原因。对碳纳米管进行了真空退火和氢气和氮气下的退火处理,其中600℃的真空退火和氢气退火对碳纳米管的场发射性能具有较明显的提升作用。最后,制备了掺氮的碳纳米管并对其生长特性和场发射特性进行了讨论。
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