近年来,柔性紫外光电探测器（UV PD）因其独特的柔韧性、可穿戴性,在光电探测、军事制造、火灾监测以及生物与化学分析等领域得到了广泛应用。传统柔性UV PD的基底为石油基高分子材料,其不可再生和不可生物降解性易对环境造成污染。纤维素是一种天然高分子材料,在自然界中广泛存在,具有可再生、可生物降解、无毒害且成本低廉等特性,近年来已经被逐渐应用于各种探测器。然而,纤维素自身多羟基的结构特性使其具有亲水性,水分的存在将直接影响纤维素基电子器件的性能,导致纤维素基UV PD的制备与储存具有一定挑战,因此寻找一种高稳定性、耐候性的纤维素基柔性基底,并在此基础上构建柔性的UV PD,对促进新型柔性电子器件的发展具有重要意义。本文以生物质纤维素为原料,利用射频磁控溅射和电子束蒸发两种不同的物理沉积方式,探究聚四氟乙烯（PTFE）薄膜在纤维素纸表面生长的最佳工艺条件,获得具有环境稳定性且表面平整的疏水纤维素纸。通过物理气相沉积与机械混合的方法在纤维素纸中引入半导体材料氧化锌（ZnO）制备具有高探测率、高稳定性及柔性的UV PD。主要研究内容如下:（1）采用射频磁控溅射和电子束蒸发两种不同的沉积方式将PTFE生长于纤维素纸的两面,由此提高纤维素纸的疏水性。探究两种不同沉积方法的工艺条件对PTFE/纤维素/PTFE复合纸性能的影响。以6 m A的电子束电流在纤维素纸上蒸发PTFE薄膜12 min,可以制备出表面粗糙度为88 nm,水接触角为135°的复合纸;以60 W的功率下在纤维素纸上溅射PTFE薄膜4 h,可以制备出表面粗糙度为125nm,水接触角为124°的复合纸。另外对比了两种物理沉积方法得到的复合纸的表面形貌、表面成分和湿膨胀系数,结果表明利用电子束蒸发制备的PTFE/纤维素/PTFE复合纸在疏水性能、表面平整度以及制备的时间与成本上都更具有优势。（2）采用射频磁控溅射在PTFE/纤维素/PTFE三层膜表面生长具有紫外吸收功能的半导体材料ZnO薄膜,进而基于ZnO/PTFE/纤维素/PTFE多层膜制备Ag叉指电极,构造金属-半导体-金属（MSM）结构的UV PD。实验结果表明,基于ZnO/PTFE/纤维素/PTFE多层膜制备的UV PD的开关比可以达到1×10~4,是原始纤维素纸基UV PD的50倍;基于PTFE/纤维素/PTFE多层膜制备的UV PD的响应时间（上升）为0.56 s,仅为原始纤维素纸基UV PD的3%;基于PTFE/纤维素/PTFE多层膜制备的UV PD暴露在空气中的湿稳定性能更优。（3）采用机械共混法将不同质量（0.1 g,0.2 g,0.3 g和0.4 g）的ZnO纳米颗粒添加至纤维素溶液内,进行充分混合,随后再生获得ZnO/纤维素复合纸;再基于ZnO/纤维素复合纸,利用电子束蒸发制备Ag叉指电极,构造MSM结构的柔性UV PD。实验结果表明,ZnO纳米颗粒的添加量对UV PD的性能有很大影响。当ZnO的含量为0.2 g时,柔性UV PD具有较好的稳定性与重复性,且对紫外光的响应程度可以达到暗电流平稳状态下的37%。另外,该柔性UV PD具有较好的热稳定性和柔韧性,在60℃的工作温度下,能保持较高的光响应,在100次弯折后,光电流仍有初始值的92%以上。