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柱面微透镜阵列的超精密车削技术研究
【摘 要】
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光刻机是集成电路生产线上的最核心装备。光刻机照明系统是光刻机的重要组成部分。光刻机照明系统的作用在于对光刻掩膜版实施均匀照明,从而使得掩膜版通过光刻机投影物镜在晶圆表面精确成像,得到均匀一致的曝光线条。匀光器件的性能是限制光刻机照明系统照明均匀性及能量利用率等核心指标的重要因素。用于光刻机照明系统的匀光器件主要有积分棒和微透镜阵列。采用微透镜阵列作为匀光器件时能减少光能量损耗并且能保持光的偏振特性
【出 处】
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中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所)
【发表日期】
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2021年01期
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