【摘 要】
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硅晶片掺杂用固态磷扩散源是一种片状的、常温下性能稳定、在高温下能分解并稳定释放出P2O5的功能陶瓷材料。本文采用溶胶-凝胶法合成了LaP5O14粉体,并以该粉体为原料,通过常压烧结制备了硅晶片掺杂用固态磷扩散源片。采用DSC-TG、DTA-TG、XRD、SEM等测试手段对试验中的样品进行表征,得到了以下结论：在800℃保温5h的煅烧制度下,合成了以柱状结构LaP5O14为主晶相的粉体,晶体尺寸为1
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硅晶片掺杂用固态磷扩散源是一种片状的、常温下性能稳定、在高温下能分解并稳定释放出P2O5的功能陶瓷材料。本文采用溶胶-凝胶法合成了LaP5O14粉体,并以该粉体为原料,通过常压烧结制备了硅晶片掺杂用固态磷扩散源片。采用DSC-TG、DTA-TG、XRD、SEM等测试手段对试验中的样品进行表征,得到了以下结论：在800℃保温5h的煅烧制度下,合成了以柱状结构LaP5O14为主晶相的粉体,晶体尺寸为10μm；LaP5O14粉体能够在850℃分解并释均匀放出P2O5,失重量与时间近似于线性关系
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