一、　 绪论 压电泵是将压电体激发的振动直接作用于流体，使其产生动压或流量输出的一种新型压电驱动机构。是流体输送系统的重要组成部分和研究热点之一。由于压电泵具有结构简单、体积小、无电磁干扰等诸多优点，并且可在较低的驱动电压下获得较好的输出能力，因此在化学分析、医疗、制药及生物工程等领域具有广泛的应用前景。 本文结合国家自然基金项目和国家高科技计划（863）项目要求为目标，重点进行了悬臂梁阀式压电泵、两腔体压电泵的研究，并将压电泵应用到计算机 CPU 冷却等相关技术中。二、　复合压电振子振动的理论分析 压电振子是压电泵的动力源，它承担着将电能转换为机械能的重要作用。压电振子一般由具有压电效应的压电材料与弹性体材料以一定方式结合而成，它利用压电材料的逆压电效应，将输入信号的电能转变为机械位移（或变形）的机械能，从而带动弹性体变形最终形成压电振子整体的弯曲振动。 在充分考虑压电材料、压电效应及其性能参数的基础上，根据薄板的振动理论，分析了电压策动下压电陶瓷和金属板构成的两层复合圆形薄板的振动模式，给出了压电振子的几何方程。　 通过实验，得出在不同阀片和阀孔条件下压电振子的振动规律。在工作状态下测得阀片的宽度尺寸对振子的振幅影响不大，阀片的长度尺寸对振子的振幅和最佳振幅对应的频率都有显著影响。随阀孔直径的增加压电泵流量也随之增加。　 同时还对周边固定的圆形压电振子进行阻抗分析，结果表明在灌泵后振子的频率比空载时有明显下降，但比实际工作的最佳频率还要高出许多。　 压电振子的变形量与输入电压成线性关系，随输入电压的增加变形量增大，同时其变形量还受输入信号波形的影响，其中输入正弦波信号时振子变形 –58–<WP=64>量最大，三角波次之，矩形波最小。三、　单腔悬臂梁压电泵的理论分析与实验研究根据压电泵内悬臂梁阀片的工作环境，建立了悬臂梁阀片的动力学模型，给出了液体内悬臂梁阀片基频的计算方法及其与各个结构参数之间的关系，为悬臂梁阀设计提供了理论依据。　压电泵的输出能力及最佳工作频率与阀孔直径有关，阀孔直径越大泵的输出流量越大，最佳工作频率越高；相反，阀孔直径越小，压电泵的输出压力和最佳工作频率越低。　阀是影响压电泵性能的主要因素。增加阀片长度尺寸、加大系统阻尼，可使压电泵的出流能力和最佳工作频率降低。当改变阀片尺寸使其共振频率接近压电振子的共振频率时，就会发生系统共振，从而使压电泵具有一个最佳工作频率点。　四、　悬臂梁压电泵在芯片冷却中的分析与试验从压电泵的实际应用出发，在了解国内外芯片冷却技术的前提下，对压电泵在芯片水冷方面的应用进行了初步的研究。并对散热器的进行了选取，计算了最小散热面积。在单腔体结构的基础上，设计制造了两腔体压电泵，并对样机进行了的试验测试，得出了两腔体压电泵的输出特性。以压电泵为流体泵构建了水冷系统，用导热性能良好紫铜制作了吸热盒，分别用紫铜管，不同型号的铝型材制作了三种不同的换热器。分别研究了各组成部分的特性，由乙二醇和水混合成的冷却液中水比例越大，其粘度下降，比热上升，冷却效果变好，换热器的散热面积在空间允许的情况下越大，其散热效果越好。在整个系统与澳柯玛对比试验证明：压电泵系统具有一定的冷却效果，整个系统中泵的流量起决定作用。五、　悬臂梁阀压电泵的实验研究及结论在压电学、振动力学等相关知识基础上，以增大流量为目的，对悬臂梁式压电泵的工作机理，进行了比较系统的理论研究。通过对悬臂梁阀片与流体的耦合振动分析，建立了悬臂梁阀片结构参数与附加阻尼、附加质量之间的数学 –59–<WP=65>模型，制做了不同形状的阀片和不同大小的阀孔，并进行了试验测试。设计、制造了单腔泵、两腔并联泵等多种结构形式的压电泵样机，同时进行了大量的试验研究。用压电泵为动力泵构建了芯片水冷系统并且进行了测试，得出如下结论： 　1．单腔体结构压电泵和两腔体结构压电泵，输出压力、零压力输出流量与输入电压基本成线性关系，随电压的不断增加，工作参数也不断增加，且在电压允许的条件下，电压越高，其增加的幅度越大。2．压电泵在低频率段工作输出流量较大。本文实验的不同阀片和阀孔结构的压电泵样机的最佳频率均在 200 赫兹以内，在此频率段压电泵的工作性能最佳，随频率的增加，压电泵的输出压力、流量均大幅度减小。3．单腔泵的工作能力受输入电信号及阀孔直径等多种因素的影响。在输入电信号为正弦波时，其工作能力（这里指输出压力和流量）最强，三角波信号次之，而矩形波信号最差；另外，阀孔直径大小也影响其工作能力，当腔体容积在允许范围内增加时，泵的工作能力增强。阀片长度尺寸对泵输出影响较宽度尺寸的影响要大得多。4． 由压电泵构建的水冷系统，具有体积小、效率高、成本低等特点。试验证明该压电泵水冷系统有一定的冷却能力，20 分钟可以使 40W 的加热片达到热平衡 43℃?