高灵敏度光纤压力传感器的研究

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光纤传感器作为一种重要的传感器件,由于其在被广泛应用于信号检测和传感领域。在各类高灵敏光纤传感器中,法布里-珀罗型具有结构简单、腔长短、精度高的特点,实用化程度最高;而为进一步提高传感器灵敏度并且保持光纤传感器体积小的优点,基于非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪的膜片式压力传感器成为近期前沿的研究热点。现阶段非本征型光纤法布里-珀罗压力传感器常用蚀刻的方法形成空心腔以及化学合成的方法制备传感薄膜,此工艺已经成功的实现光纤压力传感器的生产及应用。本论文在此基础上进行以毛细玻璃管作为腔体,利用热沉积的方法完成传感薄膜的制备与优化,通过亚微米薄膜的低损耗转移技术,制备非本征型光纤法布里-珀罗压力传感器的研究。具体进行以下研究工作:首先,介绍光纤传感器的发展历程,阐述光纤膜片式压力传感器传感特性及其在传感领域的应用。其次,研究膜片式压力传感器的传感机理,分析非本征膜片式光纤压力传感器中的干涉理论。再次,系统研究了传感器在制备过程中膜片的形变原理及频响特性,深入分析了膜片的材质、形状、大小、厚度等参数对传感器性能的影响,探索对蒸镀形成的薄膜低损耗转移的方法,形成基于金属薄膜新型的腔体结构,完成压力传感头的制备。最后,利用毛细玻璃管、单模光纤和金属薄膜制备传感器,进行简单滤波放大电路的设计和制作,搭建压力传感器的测试系统。对本文中提出相关结构的压力传感器的传感特性进行了测量及分析,得到了灵敏度较高的光纤压力传感器。
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