【摘 要】
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透明导电电极是有机发光二极管（OLED）的重要组成部分,其性能直接影响OLED的发光效果,因此,研究电极的性能具有重要意义。针对氧化铟锡存在易脆、铟资源稀缺等问题,提出一种WO3（三氧化钨）/Ag（银）/PEI（聚乙烯亚胺）/Cu SCN（硫氰化亚铜）（WAPC）叠层结构电极;采用传输矩阵理论模拟电极的光学性能,通过旋涂法和真空蒸镀法制备WAPC叠层透明电极。主要内容包括:（1）采用传输矩阵理论模
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透明导电电极是有机发光二极管（OLED）的重要组成部分,其性能直接影响OLED的发光效果,因此,研究电极的性能具有重要意义。针对氧化铟锡存在易脆、铟资源稀缺等问题,提出一种WO3（三氧化钨）/Ag（银）/PEI（聚乙烯亚胺）/Cu SCN（硫氰化亚铜）（WAPC）叠层结构电极;采用传输矩阵理论模拟电极的光学性能,通过旋涂法和真空蒸镀法制备WAPC叠层透明电极。主要内容包括:（1）采用传输矩阵理论模拟电极WO3/Ag/Cu SCN（WAC）的光学性能,获得最优叠层透明结构为WO3（35nm）/Ag（9nm）/Cu SCN（47nm）,其在550nm波长处的光学透过率为92.7%,且透过率随Ag（>9nm）厚度的增加而降低。（2）通过旋涂法和真空蒸镀法在超薄聚酰亚胺衬底上制备WAPC电极,最优电极结构为WO3（35nm）/Ag（13nm）/Cu SCN（47nm）,其在550nm波长处的光学透过率为85%,方阻为6.4Ω/□。（3）为进一步提高电极性能,引入聚乙烯亚胺（PEI）作为Ag的种子层,并在Cu SCN薄膜上制备Ag/PEI复合薄膜,其透过率71%,方阻10Ω/□;与Cu SCN薄膜上制备的Ag相比,Ag/PEI复合薄膜透过率提升了8%,方阻降低了16Ω,且薄膜更加均匀、平整。（4）通过对Ag层厚度的优化,得到最优的叠层透明电极结构WO3（35nm）/Ag（9nm）/PEI/Cu SCN（47nm）,其光学透过率90%,方阻10.2Ω/□,均方根粗糙度4.4nm;此外,还表现出优异的机械性能,在1000次弯曲测试（半径1mm）下方阻仍无任何变化。
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