聚合物光调制器是目前世界范围的一个研究热点，在光通信方面有广泛的和极具吸引力的应用前景，对它的研究工作具有重要的意义。调制电极作为电光调制器中不可缺失的组成部分，它的制作工艺研究显然亦具有十分重要的现实意义。 本文研究了有机聚合物调制器电极的设计和制备工艺，主要研究内容如下：首先，研究了电光调制器的基本原理，根据实际系统要求，设计了1GHz聚合物光波导电光调制器微带电极系统。依据微带系统的电路模型对设计参数进行了分析和验证，在综合考虑波导参数的情况下，确定了调制电极的系列设计参数。其次，为了获得较好的电极金属层，研究了真空蒸镀和电镀制作工艺。通过对薄膜厚度、蒸镀时间、蒸镀电流、真空度和电镀时间等制备参数之间关系的研究，总结出真空蒸镀电流120A、蒸镀时间4．5min、电镀时间35min、Cr／Au金属薄膜厚度为2．2μm的最佳制备工艺参数。最后，为了获得完好的电极图形，研究了光刻和腐蚀微细加工制作工艺。通过对套刻、显影时间、腐蚀液配比和腐蚀时间的研究，总结出显影时间19sec、Au层腐蚀时间1min30sec、Cr层腐蚀时间为8sec的最佳工艺参数。同时制备出了满足实验需要的电极，为聚合物电光调制器的制备工作提供了良好的研究基础。