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该文尝试采用离子束辅助沉积技术(IBAD)制备二元金属系统非晶合金薄膜.该技术是在电子束蒸镀薄膜的同时用离子束轰击薄膜,使两种不同的金属材料在远离平衡的过程中被混合并形成非晶相.实验中研究了多种合金系统非晶薄膜形成的工艺条件以及所获得的非晶薄膜的电化学和电学性能.
离子束辅助沉积制备非晶合金薄膜及其性能
【摘 要】
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该文尝试采用离子束辅助沉积技术(IBAD)制备二元金属系统非晶合金薄膜.该技术是在电子束蒸镀薄膜的同时用离子束轰击薄膜,使两种不同的金属材料在远离平衡的过程中被混合并形
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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清华大学
【发表日期】
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2002年期
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