在开放创新的新背景下,创新不再只局限与企业之间、地区之间、国家之间,而更多是存在于产业链与产业链之间,产业集群与产业集群之间。产业集群的发展在经济发展的进程中扮演着越来越重要的角色。半导体产业作为尖端以及具有高附加值产业,对其他相关产业的带动作用明显,是在整个国民经济中具有重大战略意义的关键性骨干产业。本文基于产业链合作视角,对陕西省半导体产业集群协同创新进行了研究。首先论述了陕西省半导体产业的发展状况;第二,明确基于产业链合作视角的半导体产业集群协同创新及协同创新影响因素与绩效的概念,然后从产业链的“内含链”:企业链、价值链、技术链、供需链和空间链五个层面分析了半导体产业集群协同创新的影响因素,并选取更能代表协同创新绩效的创新直接效果作为协同创新绩效研究的依据;第三,构建基于产业链合作视角下陕西省半导体产业集群协同创新影响因素与绩效评价指标体系,并以陕西省半导体企业为样本,运用结构方程模型进一步定量分析协同创新影响因素与绩效的结构关系;第四,以实证分析结果和协同创新等理论为基础,从企业链因素、价值链因素、技术链因素、供需链因素、空间链因素以及产业发展方向六个方面详细提出了提升陕西半导体产业集群协同创新绩效的建议。这些建议一定程度上能够为陕西半导体产业集群内各创新主体提供改善思路。希望通过这些建议的实施,能够提升陕西半导体产业集群的协同创新绩效。通过理论分析和实证检验,本文得出如下结论:第一,产业链的五个“内含链”因素对产业集群协同创新绩效具有不同程度的影响。其中企业链因素的影响最大,供需链因素的影响最小;第二,各可观察变量因素对其所对应的的潜变量因素的影响程度不同;第三,陕西半导体集群企业可以从企业链因素、价值链因素、技术链因素、供需链因素、空间链因素以及产业发展方向六个方面提升陕西半导体产业集群协同创新绩效水平。