高精度渐开线齿轮在现代机械产业中应用广且需求量大,但我国绝大部分高端齿轮需求仍依赖进口,发展齿轮渐开线样板\高精度渐开线面制造技术,对高精度等级齿轮制造具有重要的意义。近年来,电解线切割加工技术作为电解加工技术的延伸,受到了国内外学者的广泛关注,其独特的加工特性可以解决许多传统加工技术难以解决的问题。本文提出将振动辅助电解线切割加工技术引入高精度渐开线齿廓加工中,进行了一系列研究,主要内容如下:1.进行了振动辅助微细电解线切割加工渐开线轮廓机理研究。建立了微细电解线切割加工模型以及加工间隙补偿参数方程,进行了电场仿真证明了渐开线轮廓加工中提升切割精度与间隙补偿的必要性;进行了流场与温度场仿真,分析了旋转螺旋电极及工件振动加双面低速冲液的线电极对间隙内加工环境的影响,进行了电化学特性测量,分析了Gcrl5轴承钢在不同电解液内的钝化特性。基于实验需要搭建了振动辅助微细电解线切割加工平台。2.进行了Gcrl5轴承钢的螺旋电极切割试验研究,获得了加工电压,脉冲频率,脉冲占空比以及进给速度对加工精度的影响规律,其规律与加工模型吻合。使用优化的参数加工了齿顶圆直径约3.362m,切割时深宽比达到6.25的典型微齿轮结构。3.进行了大厚度Gcrl5轴承钢的切割试验研究,对比了不同冲液方案,验证了双面冲液对上下表面缝宽的优化作用;分析了振动频率,振动幅值对于加工精度的影响规律,证明振动辅助有助于提高加工精度。此外进一步研究了各项电参数对加工效率的影响规律,证明电压,占空比的增大,频率的减小可以一定程度上增加最大进给速度,提升加工效率。4.进行了渐开线样板切割试验。使用优化的加工参数及补偿加工轨迹加工了基圆直径13.39mm,展长为8.39mm的9级齿廓精度的渐开线样板,深宽比达40,证明了振动辅助电解线切割加工高精度渐开线样板的可行性。