本论文以国家自然科学基金项目“基于蜘蛛振动感知机理的仿生多维微拾振构件及应用基础研究”(项目编号:50675193)为背景,基于MEMS主要加工技术提出了一种小量程的孔缝悬臂梁一质量块结构的新型压阻式硅微加速度传感器,通过理论分析、有限元仿真对传感器的结构设计和制作工艺进行了深入研究,并对传感器性能进行了实验验证。第一章,阐述了本论文的研究背景与意义,介绍了MEMs的主要加工技术和应用。对压阻式硅微加速度传感器的发展历程以及还存在的问题做了详细介绍。在此基础上提出论文的主要研究内容。第二章,深入分析了压阻效应,建立了无孔缝悬臂梁压阻式硅微加速度传感器的力学模型,在此基础上进行了结构的应力分析、固有频率分析及阻尼分析,最终完成孔缝悬臂梁压阻式硅微加速度传感器的参数设计。第三章,对孔缝悬臂梁压阻式硅微加速度传感器的结构进行有限元仿真分析,包括静态分析、模态分析和谐响应分析,结果表明传感器结构设计合理。第四章,对孔缝悬臂梁压阻式硅微加速度传感器的加工工艺流程和封装进行了研究。深入研究了加工过程中的关键工艺,设计出了工艺流程和加工版图,最后介绍了传感器的封装方式。第五章,完成对孔缝悬臂梁压阻式硅微加速度传感器性能的实验验证,对传感器的压阻、线性度、灵敏度以及系统噪声进行了测试,结果表明传感器性能符合设计要求。第六章,对本文的研究内容进行总结,并对未来的研究工作进行展望。