【摘 要】
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该文主要研究一种CMOS集成湿度传感器.该文第一章首先介绍了集成传感器、湿度传感器以及集成湿度传感器的发展概况,回顾了湿度测量技术的发展史,介绍了湿度传感器的分类和特
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该文主要研究一种CMOS集成湿度传感器.该文第一章首先介绍了集成传感器、湿度传感器以及集成湿度传感器的发展概况,回顾了湿度测量技术的发展史,介绍了湿度传感器的分类和特点,以及该课题的主要任务.第二章对CMOS工艺兼容的湿度敏感器件进行了概述.在比较了多种CMOS工艺兼容的湿度敏感器件特点后,选择了一种工艺较简单的交叉指型结构的湿度敏感器件作为研究对象.第三章分析了湿度敏感器件的模型,其中提出了湿度传感器工作的模型,详细分析了大气介电常数与大气湿度的关系,讨论了吸附作用对湿度传感器性能的影响.第四章介绍湿度传感器及其处理电路的设计,其中对湿度传感器的电学特性进行了分析,对各种湿度传感器处理电路形式进行了比较,最终利用PSPICE设计了湿度传感器的处理电路,利用L-EDIT绘制了芯片版图.第五章工艺制备和测试.主要是在流片后,对湿度传感器单元和芯片的各项参数进行测试与分析.第六章对集成湿度传感器的发展前景进行了展望.结束语对该课题的集成湿度传感器设计工作进行了总结.
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