真空离子镀膜是在材料表面进行薄膜制备的一种加工技术。真空环境下离子镀膜过程复杂,需要监控的工业参数较多,系统的整体耦合性和时滞性高,依靠人工操作难以实现生产过程的稳定高效运行。据此,应用计算机控制技术、网络技术到自动化生产过程,结合镀膜设备特点,打造一套真空离子镀膜设备的计算机监控系统。这不仅对生产效率和产品质量的提升有巨大帮助,也为工业界计算机监控系统的设计开发提供了宝贵经验。首先,在研究分析成膜原理与镀膜技术的基础上,总结影响成膜质量的关键因素,确定监控系统设计目标。据此集成相关设备,基于离子束辅助沉积技术,设计实现监控系统的总体方案、工艺单元和工作流程。其次,对影响成膜质量的关键单元,如真空排气监控单元、基板加热监控单元及膜厚监控单元的设计实现进行详细阐述。最后,根据监控需求,使用编程技术设计实现系统软件。设计实现排气监控方案。基于两级泵组设备,使用分步排气策略对镀膜室抽真空过程进行监控。设计实现基体温度监控方案。基于二自由度PID技术编写温度控制的PLC功能块程序,在此基础上实现基体加热过程的监控。设计实现基于电学原理和光学原理膜厚监控方案。给出晶体膜厚仪PID参数整定公式（蒸发源功率控制）及各种工况下求Z参数（提升晶体检测精度）的方法。改进常规的光学膜厚监控算法流程,并针对光学膜厚中的非规整膜系测量难点引入波长搜索法,编程实现规整/非规整膜系监控流程。分别对PLC的设备动作流程、触控终端PT的人机交互界面、上位机的自动化监控流程进行软件设计和开发。使用PLC编程技术,设计实现PLC的过程控制程序。使用终端编程技术,设计实现PT的显示和通信功能。使用GUI编程技术,设计实现上位机的UI界面和流程监控程序。研究分析Fins协议,使用网络编程技术,设计实现上位机与PLC的Fins通信功能。软硬件调试之后,结果表明镀膜系统的工作效率高、稳定性好,能够达到离子束辅助沉积镀膜的要求。