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在该论文中,我们采用磁控溅射法制备出有机衬底ZnO：Al和SnO<,2>：Sb透明导电薄膜,详细叙述了薄膜制备过程,探索了薄膜的最佳制备条件,研究了有机衬底透明导电膜的结构特性、光电特性、掺杂机理及散射机制.
有机衬底透明导电膜的制备与特性研究
【摘 要】
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在该论文中,我们采用磁控溅射法制备出有机衬底ZnO：Al和SnO：Sb透明导电薄膜,详细叙述了薄膜制备过程,探索了薄膜的最佳制备条件,研究了有机衬底透明导电膜的结构特性、光电特性
【机 构】
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山东大学
【出 处】
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山东大学
【发表日期】
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2002年期
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