随着科技的发展以及装备制造业的发展需求，越来越多的新型材料被发明以满足市场需要，尤其是超强、超硬及高韧性的材料如雨后春笋般涌现，而对于此类材料的加工，也越来越考验现有的和新兴起的加工技术，短电弧加工技术作为新兴起的特种加工技术就是在这样情况下产生的。而其作为特种电加工的一支力量也迅速发展起来。由于短电弧加工技术是近几十年里新兴起的一门特种加工技术，其理论体系还不够完善，尤其是对加工机理的研究更是不够完善，因此采用短电弧机床加工的工件表面质量并不理想，这也说明短电弧技术在精加工的领域中有比较大的发展潜力。本文通过对在加工中放电参数的研究和分析，掌握其影响工件表面加工质量的规律，在后期为改变放电参数而改善工件表面加工质量奠定基础。本文首先采集到在不同放电参数下加工试件的放电波形，然后设计多因素正交试验寻求放电参数在加工时对工件表面粗糙度值的影响规律，与此同时，结合使用单因素试验方法对影响粗糙度的主要因素做更进一步的分析；采用逐步回归方法对实验得到的数据进行计算和分析，在此基础上建立放电参数对加工工件表面粗糙度值的数学模型；选取典型材料作为加工试件，并研究工件已加工区域的表层物理性能及机械性能的变化，包括以下几方面的变化：金相组织的变化，表面残余应力的变化、显微裂纹的情况以及表面硬度变化的情况；并通过试件已加工区域的显微图像初步分析表面形貌的形态和产生原因；初步分析和观察了短电弧加工技术对高温合金材料的加工效率以及表面加工质量，为后续使用短电弧技术加工超强、超硬以及超强类材料奠定了基础。