纳米TiO_2薄膜的低温等离子体制备及其光学性能研究

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纵观国内外近几年的研究,TiO2作为一种重要的功能薄膜材料,无论在基础理论研究,还是实际应用研究都取得了显著的成果,部分成果已经在太阳能电池、光点转换器、污水处理、空气净化、保洁除菌等领域有着广泛的应用。由于光在硅表面的反射使光损失高达三分之一,如果在硅表面有一层合适的薄膜,利用薄膜干涉的原理可以使光的反射大为减少,从而达到提高其光电转换效率的目的。TiO2是一种作太阳电池减反射膜的理想材料。随着世界范围内能源问题的日益恶化,利用活性高、稳定性好、紫外线吸收能力好的纳米TiO2作为太阳能电
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