近几年来,随着科学技术和工业的不断发展,生物工程、军事工程、精密光学工程和精密机械工程等领域对具有大运动范围和高精密定位精度的运动机构有着越来越迫切的需求。宏微双重驱动技术是满足大行程高精度定位的一种有效手段。将宏驱动与微驱动结合起来,能保证整个系统在大行程运动的前提下实现高精密定位的要求。因此,开展该领域的关键技术研究具有重大而深远的意义。基于上述研究背景和意义,本课题构建了二维宏微双驱动大行程高精密平台：直线电机宏驱动平台实现大行程的运动,高精密光栅尺测量并反馈其实际位移,柔性铰链微驱动平台补偿其位移误差,提高系统的定位精度。第一章介绍了宏微双驱动技术的研究背景和意义,然后阐述了国内外对减耦微驱动平台的设计研究及宏微平台之间去耦合技术的研究。第二章给出了微驱动平台的总体设计方案,对系统的刚度、频率、放大倍数、耦合度等重要参数进行计算和仿真分析,设计了一个具有大放大倍数和低耦合位移的二维驱微动平台并进行线切割加工。第三章首先构建了微驱动平台系统,并对系统进行开环测试,分析了其开环性能。然后通过系统辨识建立微驱动平台的理论模型,初步设计系统的PID控制器。最后对构建的系统进行PID闭环控制实验,测试闭环条件下系统的线性度、位移分辨率和耦合位移。第四章测试了直线电机平台的定位性能,结合微驱动平台的运动行程,提出了多点定位的控制流程。开展了宏微双驱动平台多点定位及去耦合实验,验证了采用改进后的宏微驱动控制流程以及双半闭环控制策略,能使整个系统实现大行程高精度低耦合定位。第五章总结了本文的研究内容,并提出了一些希望和建议。