单晶金刚石同质外延生长的应力研究

来源 :武汉工程大学 | 被引量 : 1次 | 上传用户：lnln0923

【摘要】

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【作者】

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宋修曦

【出处】

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武汉工程大学

【发表日期】

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2018年01期

【关键词】

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微波等离子体单晶金刚石同质外延生长应力

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