【摘 要】
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在设计的验证阶段,就需要对芯片进行简单的测试,被称为验证测试;在晶圆制造完成之后,对晶圆进行测试,这个阶段被称为中测。此时用到的测试设备是集成电路测试系统、探针台。晶圆测试完成之后,就对测试合格的晶圆进行封装,封装完成之后,再次进行测试,这时需要的测试设备是集成电路测试系统,此过程叫做集成电路的成测。成测合格的产品将进入电路的筛选环节。在筛选过程中,需要对集成电路进行各种试验,例如:老化试验、寿命
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在设计的验证阶段,就需要对芯片进行简单的测试,被称为验证测试;在晶圆制造完成之后,对晶圆进行测试,这个阶段被称为中测。此时用到的测试设备是集成电路测试系统、探针台。晶圆测试完成之后,就对测试合格的晶圆进行封装,封装完成之后,再次进行测试,这时需要的测试设备是集成电路测试系统,此过程叫做集成电路的成测。成测合格的产品将进入电路的筛选环节。在筛选过程中,需要对集成电路进行各种试验,例如:老化试验、寿命试验、静电试验等。在每次试验之后,需要对被试验的电路进行测试,此时的测试阶段被称为筛选测试。因此测试是集成电路研制过程中的一个重要环节,而测试离不开测试设备,所以测试设备就显得尤为重要。本论文分析了 J750测试机的硬件结构,明确测试系统的硬件技术指标;分析测试机的软件架构,确定测试程序的开发流程;详细分析10款运放电路测试参数、测试条件;明确知道测试机所需提供的硬件资源;从而确定J750测试机的硬件和软件都能够满足运算放大器电路测试需求。在此基础上深入研究运放的测试方法,制作测试接口板,在测试接口板上建立辅助运放环,实现运算放大器在J750测试机上自动测试。本文主要研究了以下内容:①从表征运放重要特性的失调电压开始程序的开发和验证。在750测试机上采用伺服运放环的方法、自身闭环的方法、改变电源电压方法进行失调电压的测试。分析自身闭环测试、变电源电压测试、伺服运放环测试失调电压区别,从而得出用伺服运放环测试运放,测试结果更为稳定,更适合运放参数的测试;变电源法在测试设备能力允许的情况下,对于测试运放参数更加方便灵活;自身闭环测试相对简单,但是容易出现测试数据异常,不建议作为生产测试使用。②在确保失调电压测试准确的情况下,对测试方法相同的参数如共模抑制比、电源抑制比、直流增益等参数进行程序开发。对共模抑制比采用两种方法进行测试程序开发,变电源法和共模法。③运放的偏置电流采用闭环方式测试,在采样电流测量方式上,利用精密电阻采样和电容充电的方法对正向输入端和反向输入端电流进行测试。④输出高电平电压、输出低电平电压、输出电流、电源电流采用开环方法进行测试。⑤利用测试机的数字通道对信号的调制功能,给运放提供所需的输入信号,再结合时间测量单元,通过计算完成转换速率的测试。最后在国产模拟测试机上开发运放电路的测试程序,并对J750测试数据和国产模拟测试机测试数据进行比对,验证了 J750测试机上测试方法的正确性、测试数据的稳定性。
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