玻璃、陶瓷等硬脆性非导电材料具有高硬度、耐磨损、绝缘性好等优良特性，已在航空航天、生物医疗等高科技领域得到广泛应用。电解电火花加工作为加工玻璃、陶瓷等硬脆性非导电材料的有效方法，具有成本低、无宏观切削力等优点。本文提出以超声振动电解电火花加工硬脆性非导电材料的方法，研究了电解电火花加工机理、超声振动机理，并通过工艺实验分析了超声振动对电解电火花加工工艺的影响。本文的主要研究内容如下：（1）研究了电解电火花加工机理、超声振动特性和工作机理，选择合适的超声设备，搭建了带有超声振动的实验平台。（2）采用控制单一变量法完成了小孔加工工艺实验，通过改变加工电压、电解液浓度和超声振动频率等参数得到实验结果，并进行了分析，得出超声振动对于加工孔的尺寸和圆度的影响规律。（3）研究了电解电火花铣削加工原理，完成了电解电火花铣削加工系统控制软件的设计。（4）通过混粉电解电火花铣削加工实验，研究了超声振动对电解电火花铣削加工表面质量的影响规律。对陶瓷和硅片材料进行了电解电火花加工，探究了电解电火花加工陶瓷材料和硅材料的可行性。