带薄壁梁结构和高深宽比特征的微型挠性器件是挠性摆式加速度计和振梁加速度计的重要元件,其具有体积小、精度高、灵敏性好等优点。但是,微型薄壁梁零件因其微米级的尺度特征,加工过程中零件装夹困难,薄壁梁部分易产生变形、微毛刺,较大的表面较粗糙和加工层硬化。针对以上问题,本文重点研究了微型薄壁零件加工过程中变形和毛刺产生的机理,并改进了加工工艺改善表面粗糙度和加工表面的特性。首先建立微细铣削加工薄壁梁过程中的力学模型并研究其变形特点。通过分析薄壁梁加工过程中的变形挠性曲线,得出薄壁梁的弱刚度是其变形的重要原因。提出构建辅助支撑结构抑制薄壁梁变形的方法,辅助支撑材料的选择要求,最终通过加工试验验证了上述方法的可行性。其次研究微细铣削过程中微毛刺的产生机理。刀尖圆弧在工件边界的负剪切效应是毛刺产生的重要原因,提出了构建牺牲层来控制和阻止毛刺产生的方法,使毛刺最终产生在牺牲层上。加工结束后将牺牲层从工件表面上去除,得到没有微毛刺的零件。然后研究影响微挠性薄壁微梁已加工表面粗糙度的因素。通过正交试验对加工过程中的刀具直径、主轴转速、切削深度、每齿进给量进行了研究,通过正交试验找到了影响被加工表面最优的切削参数组合。最后,研究微细铣削铍青铜被加工表面的表面特征。观察了变质层和形成机理,并显微分析了不同刀具刃口圆弧半径对工件显微硬度的影响规律,最后分析了被加工表层发生显微硬化的机理。