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本工作采用螺旋波等离子体增强化学气相沉积技术,在单晶Si及石英衬底上制备了纳米SiC薄膜。通过原子力显微镜、X射线衍射谱、傅立叶变换红外吸收光谱、紫外一可见透射光谱、光致发光谱等技术手段,对所制备薄膜的成分、微观结构、光学带隙及发光等特性进行了表征和分析,研究了衬底温度对薄膜的微结构,尤其是对发光特性的影响。微结构特征分析结果表明,薄膜整体呈现为典型的非晶基质中镶嵌纳米晶态SiC的结构。衬底温度升高,纳米SiC粒子的尺寸逐渐变小,粗糙度逐渐变大,薄膜中晶态SiC的比例增加。光吸收和发光特性分析显示,