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微、纳米薄膜材料是大规模集成电路、激光器件、微机电系统的重要组件。薄膜导热特性影响着器件和系统运行的性能和可靠性,因此研究薄膜的热传导性能对于器件的设计和稳定运行具有重要意义。本文用实验手段探讨了体态材料及微尺度结构材料热传导中的几个问题。其目的是为了找到合适的热电材料,进行合理结构设计来提高热电制冷效率,从而制备一种微型嵌入式制冷器件,为计算机芯片、MEMS器件等提供帮助。本文介绍了MEMS的发展情况,结合具体实例介绍了热电制冷器件及其基本原理,对微尺度传热的研究现状进行了