在社会的众多领域中,压力传感器都起到了很重要的作用。根据相关资料得知,压力传感器的种类很多,其中在硅质材料上完成的占大多数。本文的传感器是基于MEMS工艺,在单晶硅上制作四个纳米多晶硅电阻,由四个电阻按规则排列构成惠斯通电桥的结构,进而形成纳米多晶硅薄膜压力传感器。当施加压力在硅膜表面时,惠斯通电桥中的两个多晶硅电阻增大,其余的两个多晶硅电阻减小,因而使桥路失去平衡,电桥的两端就有电压输出,最后将力学信号转化为电压信号。本文分别介绍了压力传感器、纳米多晶硅压力传感器的工作原理、基本结构、模数转换电路的模拟仿真和制作,程序的设计实现。对纳米多晶硅压力传感器的电流-电压特性、静态特性、温度特性进行了分析。同时也利用软件对设计的检测信号电路、模数转换电路、控制及显示电路、电源电路进行模拟仿真,在此基础上制造了模数转换电路。本文设计的多晶硅压力传感器利用纳米多晶硅电阻做为压敏电阻,在一定程度上克服了多晶硅压力传感器信号难以测量的缺点,增强了传感器的稳定性。制造的模数转换电路经实验表明达到了设计要求.