【摘 要】
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近来，具有微小特征空间尺度和时间尺度的传热问题备受研究者的关注，微尺度传热的研究不仅有助于利用低维结构来提高热电制冷效率，而且可以为MEMS、计算机芯片等的结构设计及热优化提供帮助。电介质薄膜导热特性严重影响着器件和系统的运行性能和可靠性，探求薄膜的热导率和热输运规律，对于器件的热管理和热电藕合优化设计具有重要意义。目前对于厚度为1～100nm之间的薄膜，热导率的试验测试非常的困难。在该尺度下，分
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近来，具有微小特征空间尺度和时间尺度的传热问题备受研究者的关注，微尺度传热的研究不仅有助于利用低维结构来提高热电制冷效率，而且可以为MEMS、计算机芯片等的结构设计及热优化提供帮助。电介质薄膜导热特性严重影响着器件和系统的运行性能和可靠性，探求薄膜的热导率和热输运规律，对于器件的热管理和热电藕合优化设计具有重要意义。目前对于厚度为1～100nm之间的薄膜，热导率的试验测试非常的困难。在该尺度下，分子动力学(MD)模拟是有效的研究方法。本文将用分子动力学模拟方法，对氮化铝体材料及薄膜材料的热导率进行深
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