在现代工业加热领域，感应电源凭借其稳定可靠，高效节能，安全环保的特性一直占有举足轻重的地位。本文设计了一套真空镀膜感应加热电源组，通过采用锁相环技术实现负载谐振及软开关环境。设计中软开关技术的运用，大幅度地减小了开关损耗和开关器件的电磁干扰，而负载谐振的实现又使得电源功率因数得到提高。在设计中，摒弃了三相整流后的大容量滤波电容器，进一步提高了功率因数，并减弱开机冲击电流。控制部分主要采用PI控制技术，更好的实现了恒功率、恒电流、恒电压的模式选择。与此同时，整个电源组具有高抗干扰性，输出稳定、可靠性高、结构紧凑等优点。本文根据课题设计指标，首先对主电路的拓扑方案进行了分析比较，在深入了解真空镀膜感应加热电源要求基础上，选用全桥电压型串联谐振拓扑作为逆变拓扑，并对升频式移相功率调节工作过程进行了分析；接着根据感应加热负载阻抗匹配的原理，对阻抗匹配变压器进行了设计；通过对主电路参数的计算，对相关器件进行选型，并分析了控制芯片STM32F103，完成了软件控制部分的设计，且做到了软开关的实现；然后进行了IGBT驱动电路的分析，并总结了设计经验；与此同时针对电源组的电磁干扰产生机理，提出了较好的抑制方法和隔离措施。最后，对整个主电路进行了静态仿真，分析了其仿真结果，表明方案的选择是合理可行的，通过各个模块电路的多次现场调试，最终完成了整台真空镀膜感应加热电源的设计。