两米比长仪激光干涉测长信号处理系统的研究

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干涉信号处理系统作为激光干涉系统的核心,一直倍受人们的关注。应用激光干涉仪测长,精度在很大程度上取决于干涉信号处理的好坏。为了达到纳米量级的测量精度,毫无例外均要求有准确的干涉信号误差补偿和高精度的细分方法。这两部分构成干涉信号处理系统的主体,所以现今对于激光干涉仪信号处理的研究主要集中在对于干涉信号误差补偿和细分的研究上。本文以“用现代光电测量技术改造2米比长仪”课题为依托,对干涉仪测长系统的工作原理和具体的结构进行了改进,在此基础上对其主要组成部分——信号处理系统进行了研究。主要内容
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