【摘 要】
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精密定位技术既是一项高新技术,也是一项与许多生产实践密切相关的基础技术,它在半导体器件制造、精密加工、电子产品组装生产线、高清晰显示器件制作及纳米技术研究开发等领
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精密定位技术既是一项高新技术,也是一项与许多生产实践密切相关的基础技术,它在半导体器件制造、精密加工、电子产品组装生产线、高清晰显示器件制作及纳米技术研究开发等领域具有较广泛的应用前景.该课题在此背景下,对精密定位工作开展研究,内容涉及激光精密检测系统的计算机控制与仿真、精密传动机构及其驱动、优化控制方法等.我们构建了一个精密定位实验台,采用步进电机作为驱动器,使用细分技术及差动莫尔技术来实现光栅的粗、精两级驱动定位,利用工控机、He-Ne激光发生器和一对光栅实现位移反馈并实时监控系统运行,整个系统的核心部件机械制造精度为1μm.利用此精密定位实验台实现精密直线定位的控制策略,其运行结果达到定位精度±0.9um.在此基础上,将模糊控制理论应用于定位技术中,实现快速精密定位控制.经过在精密定位实验台上的运行结果,证明采用模糊控制理论实现对精密定位控制系统的控制具有较好的控制效果.最后,论文分析介绍了课题进一步的研究方向.
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