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在射频通信电路中,电感在收发机的射频预选回路、低噪声放大器(LNA)、压控振荡器(VCO)、阻抗匹配网络和滤波器等各个模块中的应用非常广泛,尤其是随着现代通信系统工作频率的不断提高,电感在高频下的性能将直接影响移动通信系统的质量。在这种背景下,无源射频螺旋电感及相关电路模块的实现成为一个极为重要的研究课题。当前,铜工艺的优势十分明显,主要体现在：铜的导电性能优于目前普遍使用的铝,而且铜的电阻小,散热量小；采用0.13μm及以下铜工艺芯片制造技术将有效地提高芯片的工作频率。因此,在标准硅衬底上采用先进